電感耦合等離子體（ICP）是一種通過時變磁場電磁感應產(chǎn)生電流作為能源的等離子體源。主要包括等離子炬管、高頻發(fā)生器（產(chǎn)生高頻電流）、感應線圈、供氣系統(tǒng)和霧化系統(tǒng)。火炬管由三層同心石英玻璃管組成。切向引入外管的氬氣是等離子工作氣體或冷卻氣體，引入中管的氬氣是輔助氣體。內管中的氬氣是載氣，樣品氣溶膠被引入炬管。

　　

　　電感耦合等離子體有四種主要用途：

　　

　　1、等離子體光譜診斷：通過分析ICPSource的光譜分析等離子體的原子成分。參見電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法（ICP-AES）；

　　

　　2、電感耦合等離子體質譜：作為質譜的離子源，進行成分分析（ICP-MS）；

　　

　　3、反應離子刻蝕：ICPSource產(chǎn)生低溫等離子體，對材料表面進行刻蝕，改變材料的物理化學性質（ICP-RIE）；

　　

　　4、氣相沉積薄膜技術（RFICP）。

　　

　　電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法是利用激發(fā)的氣態(tài)原子或離子發(fā)射的特征光譜，確定被測物質中元素組成和含量的方法。

　　

　　原子發(fā)射光譜法一般步驟：

　　

　　1、待測物質在激發(fā)光源中蒸發(fā)、解離、電離并被激發(fā)產(chǎn)生光輻射；

　　

　　2、產(chǎn)生的復合光通量色散太輕，無法形成光譜；

　　

　　3、檢測光譜線的波長和強度進行分析。